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激光调阻机

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  • 起订量:0
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  • 发布时间:2019-05-09产品供应时间:长期有效

所在地:广东深圳市

企业类型:企业单位

公司地址:深圳市宝安区西比乡恒丰工业城C1栋3楼

联系人:朱秋苑 ( )
手机:13530351426
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企业信息
  • 深圳市森美协尔科技有限公司
  • [VIP会员第1年] 信用度:3级
  • 会员级别:VIP会员 第1年 信用度:3级
  • 店铺等级:VIP
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  • 联系人:朱秋苑(女士) 
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  • 会员状态:[当前离线] [加为商友] [发送信件]
  • 注册资金:1000万人民币
  • 企业规模:100-499人
  • 企业类型:企业单位
  • 经营模式:制造商
  • 经营范围:探针台,激光修复机,显微镜,探针
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  • 品牌:semishare
  • 所属分类:半导体 » 半导体制造设备
  • 外形:1500mm(长)*1700mm(宽)*1500mm(高)
  • 重量:约1900KG
  • 计量单位:
  • 最小起订量:0
  • 供货总量(库存):0
  • 发货期限:自买家付款之日起3天内发货

 

激光调阻机
简  介   激光调阻机广泛应用于厚膜混合集成电路、电子元器件、汽车电器、传感器、军工科研、片式电阻等行业。它是利用激光技术对厚膜电阻或薄膜电阻切割实现对电阻的精密调节,激光调阻原理就是利用一束极细的激光束打在厚、薄膜电阻上,通过对电阻体气化蒸发实现厚、薄膜电路的切割。激光束按计算机预定的程序切割厚、薄膜电阻,通过改变厚、薄膜电阻的几何形状从而改变电阻的阻值。随着激光切割过程的进行,同时实时测量电路实时监视厚、薄膜电阻阻值的变化,厚、薄膜电阻的阻值不断接近目标阻值,当厚、薄膜电阻达到目标阻值后激光束关闭,即实现激光调阻过程。


型号 LT-12
基本规格 外形 1500mm(长)*1700mm(宽)*1500mm()
重量 1900KG
电力需求 220VAC±10V/50Hz/2.2KW
真空压力 0.6MPa
激光系统 类型 光纤/固体激光
激光波长 1064nm(IR 红外)/532nm(Green 绿光)/355nm(UV 紫外)
激光功率 20W/5W/2W or higher
长时间稳定性(rms) <2%
脉冲重复频率 1~50KHz
脉冲宽度 5~30ns
调制器 声光调制器
冷却方式 水冷/风冷
典型光斑尺寸 35um, 10um or smaller
对焦方式 自动,计算机程序控制
激光束定位系统 激光束定位方式 Scanner
激光束运动范围 >60mm*60mm
运动分辨率 0.75um or better
重复定位精度 ±2.5um or better
最大速度 <2000mm/s
运动最大加速度 <2G
定位方式 可编程定位或图像识别自动定位
样品平台定位系统 X-Y轴行程 380mm, 最高速度600mm/s, 分辨率1um
XY全行程机械定位精度 ±2um(环境温度在±1°以内波动时)
θ轴角度重复精度 0.0002°
Theta  ±5°/0.0001°
测量系统 电阻测量方式 开尔文探针电阻测量法
修阻精度 ~0.07%
修阻范围 1mΩ~10MΩ
测量速度 25us/
探针卡 按用户要求定制
探针定义 可编程任意设定
探针卡运动 自动,计算机程序控制
控制系统 工控机IPC控制,WINDOWS操作系统
特点:
精度高、速度快、可靠性强; 适用厚、薄膜电路调阻,电子模块功能调整;
能够满足更小器件的生产需要; 自动化多功能测试平台;
高精度图像识别功能; 使用同一设计平台,兼容不同激光器及测量系统;

关键词:激光调阻机,供应,半导体,半导体制造设备

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